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超纯水是相对于纯水而言的，绝对纯净的水中只有水分子（H2O），氢、氧两种元素，此种水不导电。超纯水是目前人为能制得的最接近绝对纯水的水，目前所能达到的超纯水的最大电阻是18.2MΩ。普通自来水中因含有多种离子、带电胶体及其它带电荷的杂质，而使得水导电。在生产领域，很多工艺都对水中杂质含量及种类有一定的限制，因此，超纯水的概念在工业领域出现较早。膜处理方法出现以后，超纯水的发展进入一个新的时代。膜处理方法包括很多种，比如微滤（MF）、钠滤（NF）、超滤（UF）、反渗透（RO）、渗析（D）、电渗析（ED）、填充床电渗析（EDI）、气体分离（GS）、渗透汽化（PVAP）、乳化液膜（ELM）等。其中GS、PVAP、ELM在水处理当中应用较少，D、ED的方法由于有其自身局限性，现在应用也比较少，目前渗析在医药行业还有一定的应用，但在水处理当中使用较少。

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